Введение
Глава 1. Осаждение металлических покрытий в плазме магнетронных распылительных систем 11
1.1. Магнетронная распылительная система 11
1.2. Системы высокоскоростного осаждения покрытий на основе магнетронных диодов 25
1.3. Особенности формирования микроструктуры и роста покрытий при магнетронном распылении 30
1.4. Уточнение задач и программы исследований 33
Глава 2. Экспериментальное оборудование и методики исследований 35
2.1. Экспериментальная ионно-плазменная установка 35
2.2. Оптико-эмиссионная спектрометрия плазмы 37
2.3. Масс-спектрометрия атмосферы вакуумной камеры 39
2.4. Измерение толщины покрытий 40
2.5. Метод рентгеновской дифракции 41
2.6. Сканирующая электронная микроскопия 43
2.7. Исследование морфологии поверхности покрытий 45
2.8. Спектрометрия тлеющего разряда для анализа элементного состава материалов 47
2.9. Измерение механических свойств покрытий 48
2.10. Исследование коррозионной стойкости покрытий 49
Глава 3. Магнетронный диод с «горячей» металлической мишенью 52
3.1. Расчёт температуры «горячей» металлической мишени и скорости эрозии её поверхности 52
3.2. Конструкции магнетронных диодов с «горячей» мишенью 58
3.3. Эволюция рабочих параметров магнетронного диода с «горячей» металлической мишенью 62
3.4. Изучение плазмы МРС при распылении «горячей» мишени 71
3.5. Потоки энергии и вещества, поступающие на подложку 77
Глава 4. Структурные и функциональные свойства покрытий из хрома и никеля, полученных при распылении «горячей» металлической мишени 95
4.1. Кристаллическая структура покрытий из хрома и никеля 97
4.2. Микроструктура хромовых и никелевых покрытий 101
4.3. Морфология поверхности покрытий из хрома и никеля 106
4.4. Элементный состав хромовых и никелевых покрытий 109
4.5. Механические свойства покрытий из хрома и никеля 111
4.6. Коррозионная стойкость хромовых и никелевых покрытий 117
Основные выводы 122
Словарь терминов 123
Список литературы 125
