Введение
ГЛАВА 1. Состояние проблемы, обзор литературы и постановка задачи 8
1.1 Структуры на основе углерода 8
1.2 Свойства пленок и их взаимосвязь с методами получения 9
1.3 Основные методы получения алмазоподобных пленок 15
1.4 Перспективные способы получения апп, основанные на методе осаждения алмазоподобных пленок из газовой фазы (cvd-метод) 21
1.5 Оборудование для синтеза алмазных и алмазоподобных пленок способом осажения в плазменной струе, изготовленное на базе электродуговых нагревателей газа (плазмотрон) постоянного тока 25
1.6 заключения по первой главе 30
ГЛАВА 2 Установка для нанесения алмазоподобных пленок 32
2.1 Вакуумно-плазменная установка впу-2м 32
2.2 Описание принципиальной схемы плазмотрона 35
2.3 Техническое описание конструкции разработанного плазмотрона с мэв 39
2.4 Схема водоснабжения 41
2.5 Вольт-амперные характеристики 43
2.6 Расчет тепловых потерь и среднемассовои температуры для плазмотрона с мэв 44
2.7 Расчет степени ионизации плазмы 47
2.8 Заключение по главе 2 48
ГЛАВА 3 Экспериментальное исследование влияния теплофизи Ческих факторов, структуру и состав алмазоподобных пленок .. 51
3.1 Предварительные соображения по проведению эксперимента на установке впу-2 51
3.2 Методы исследования структуры фазового и примесного состава углеродных пленок 51
3.3 Результаты исследования структуры и примесного состава углеродных покрытий, полученные на первой стадии отработки технологии пхо 52
3.4 Результаты исследований опытных партий плёнок на стадии отработки технологического процесса с использованием в качестве реагента ацетилена 62
3.5 Влияние параметров нанесения на структуру, фазовый и примесный состав алмазоподобных пленок, получаемых из метана 72
3.6 Структура и примесный состав углеродных пленок, полученных из ацетилена 78
3.7 Трибологические исследования алмазоподобной пленки 80
3.8 Исследование влияния отжига на алмазоподобные пленки 87
3.9 Заключение по главе 3 88
ГЛАВА 4 Экспериментальное исследование стойкости режущего Инструмента, оснащенными пластинами с осажденной ап и апп . 90
4.1 Предварительные соображения по исследованию пленок на карбиде вольфрама (твердосплавных пластин) 90
4.2 Основные закономерности точения материалов инструментами, оснащеными пластинками с апп 92
4.2.1 Работа пластинок при точении 92
4.2.2 Работа пластинок при фрезеровании 93
4.3 Заключение по главе 4 95
Выводы 96
Список использованных источников 97
Список опубликованных работ 104
Приложение I
