Особенности дефектообразования в ионноимплантированных слоях арсенида галлия
Комарницкая, Елена Александровна. Особенности дефектообразования в ионноимплантированных слоях арсенида галлия : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Москва, 2000.- 132 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-1/758-7