Введение
ГЛАВА 1. Особенности электронного строения и свойств низкоразмерных кремниевых структур 14
1.1. 2D структуры кремний-на-изоляторе 14
1.2. 1D структуры (нанонити кремния НК) 23
1.3. Теоретические основы рентгеновской спектроскопии 37
1.4. Выводы, постановка целей и задач диссертации 41
ГЛАВА 2. Методы получения и исследования структур 44
2.1. Исследуемые структуры и условия их формирования 44
2.1.1. Кремний-на-изоляторе (КНИ) 44
2.1.2. Нитевидный кремний (НК) 45
2.2. Методы исследования структур различной размерности 49
2.2.2. Методика компьютерного фазового анализа по эмиссионным рентгеновским спектрам 55
2.2.3. Спектроскопия ближней тонкой структуры края рентгеновского поглощения или спектроскопия квантового выхода (СКВ) 57
2.2.4. Рентгеновская дифракция 65
2.3. Выводы по 2-ой главе 68
ГЛАВА 3. Электронно-энергетическое строение структуры кремний-на-изоляторе 70
3.1. Изменение параметров кристаллической решётки кремния в структуре КНИ методом рентгеновской дифракции 70
3.2. Влияние искажений решётки кремния на плотность электронных состояний валентной зоны (ВЗ) 73
3.2.1. Расщепление валентных состояний в КНИ с напряженным слоем кремния по данным УМРЭС 73
3.3. Плотность состояний в зоне проводимости (ЗП) кремния в структурах КНИ по данным спектроскопии края рентгеновского поглощения 79
3.4. Выводы по 3-ей главе 83
ГЛАВА 4. Особенности атомного и электронного строения Нитевидного кремния 85
4.1 Дифрактометрические исследования нитевидного кремния 85
4.2. Влияние технологии на электронное строение валентной зоны нитевидного кремния 86
4.3. Инверсия интенсивности спектров квантового выхода в ультрамягкой рентгеновской области Si L2,3 - края поглощения нитевидного кремния 90
4.4 Спектры квантового выхода в жесткой рентгеновской области К-края поглощения нитевидного кремния Si К 97
4.4 Выводы по 4-ой главе 100
Заключение и выводы по результатам работы 101
Список литературы
