Введение
ГЛАВА 1. Электронная спектроскопия в исследовании поверхности твердотельных наноструктур .20
1.1. Количественный анализ в электронной спектроскопии 25
1.2. Влияние неупругого рассеяния электронов на количественный анализ в электронной спектроскопии 29
1.3. Сечение неупругого рассеяния электронов .36
1.4. Универсальные классы сечений неупругого рассеяния электронов 41
1.5. Диэлектрическая функция материала и сечение неупругого рассеяния электронов 43
1.6. Функция потерь 48
1.7. Теория диэлектрического отклика в неупругом рассеянии электронов 55
Выводы к главе 1 .65
ГЛАВА 2. Экспериментальная техника и методика экспериментов .67
2.1. Сверхвысоковакуумные электронные спектрометры 68
2.2. Технологические установки 77
2.3. Расчет из экспериментальных спектров характеристических потерь энергии отраженных электронов сечения неупругого рассеяния электронов .82
Выводы к главе 2 .85
ГЛАВА 3. Компьютерное моделирование спектров сечения неупругого рассеяния электронов по потерям энергии .86
3.1. Расчет сечения неупругого рассеяния электронов при отражении от полубесконечной среды в модели Юберо-Тоугаарда .87
3.2. Модификация модели Юберо-Тоугаарда для расчета сечения неупругого рассеяния при рассеивании электронов в многокомпонентных слоистых средах 89
3.3. Компьютерная программа моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в трехслойных и композитных структурах 94
3.4. Компьютерная программа для расчета из экспериментальных спектров параметров осцилляторов диэлектрической функции 101
3.5. Компьютерная программа моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в многослойной структуре с различным соотношением концентраций составляющих материалов 105
Выводы к главе 3 .109
ГЛАВА 4. Спектроскопия сечения неупругого рассеяния электронов в структурах SiO2/Si(001) И SiO2/Si(111) 111
4.1. Получение и характеризация экспериментальных спектров 112
4.2. Экспериментальные исследования спектров сечения неупругого рассеяния электронов в эталонных образцах чистого кремния и диоксида кремния 121
4.3. Компьютерное моделирование спектров сечения неупругого рассеяния кремния и диоксида кремния в модели диэлектрического отклика 129
4.4. Компьютерное моделирование спектров сечения неупругого рассеяния электронов в двухслойной структуре SiO2/Si(001) 135
4.5. Послойный анализ распределения диоксида кремния по толщине в структуре SiO2/Si(111)
Выводы к главе 4 .160
ГЛАВА 5. Исследование двухкомпонентных структур FexSi1-x, MnxSi1-x, GexSi1-x 162
5.1. Спектроскопия потерь энергии отраженных электронов системы FexSi1-x .165
5.2. Спектроскопия потерь энергии отраженных электронов системы MnxSi1-x 174
5.3. Спектроскопия потерь энергии отраженных электронов твердых растворов Ge и Si .182
Выводы к главе 5 .198
ГЛАВА 6. Количественный анализ слоистых структур fe/si, полученных при различных технологических условиях методом спектроскопии сечениянеупругого рассеяния электронов 200
6.1. Количественный анализ тонких слоистых структур Si/Fe и Fe/Si методом спектроскопии сечения неупругого рассеяния электронов .203
6.2. Определение элементного состава, анализ возможности формирования различных фаз силицидов железа в структурах Fe/Si, полученных при разных температурах подложки .215
6.3. Спектроскопия сечения неупругого рассеяния электронов в послойном анализе слоистой структуры Si/Fe/Si(100) 225
Выводы к главе 6 233
ГЛАВА 7. Разложение спектров характеристических потерь энергии отраженных электронов и сечений неупругого рассеяния на элементарные составляющие 235
7.1. Аппроксимация экспериментальных спектров характеристических потерь энергии электронов на элементарные составляющие в процессе термической очистке кремниевых пластин 236
7.2. Разложение спектров сечения неупругого рассеяния электронов в кремнии на универсальные функции Тоугаарда 245
7.3. Разложение спектров сечения неупругого рассеяния электронов Fe и Mn на универсальные функции Тоугаарда .252
7.4. Аппроксимация спектров сечения неупругого рассеяния электронов силицидов железа универсальными функциями Тоугаарда 271
Выводы к главе 7 .283
Заключение .286
Список литературы
