Особенности взаимодействия молекулярных пучков с поверхностью кремния в условиях выращивания слоев методом вакуумной химической эпитаксии
Смыслова, Татьяна Николаевна. Особенности взаимодействия молекулярных пучков с поверхностью кремния в условиях выращивания слоев методом вакуумной химической эпитаксии : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Смыслова Татьяна Николаевна; [Место защиты: Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского].- Нижний Новгород, 2013.- 172 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-1/882
