Введение
ГЛАВА 1. Электродинамическое описание тонких металлических слоев 13
1.1. Электродинамическое описание тонких металлических слоев 13
1.1.1. Граничные условия 13
1.1.2. Обзор классических методов исследований отражающих свойств тонких металлических слоев 19
1.1.3. Проводимость тонких пленок и структур 21
1.1.4. Исследование многослойных и шероховатых структур 26
1.2. Физические характеристики аморфных металлических пленок 28
1.2.1. Свойства тонких аморфных металлических пленок и сплавов 29
1.3. Постановка задачи 36
ГЛАВА 2. Отражающие свойства тонких металлических слоев и пленок 39
2.1. Граничные условия 40
2.1.1. Обобщенные импедансные граничные условия 40
2.1.2. Приближенные граничные условия 43
2.1.3. Слой на диэлектрической подложке 45
2.2. Коэффициенты отражения и прохождения 48
2.2.1. Слой в свободном пространстве 48
2.2.2. Слой на диэлектрической подложке 50
2.2.3. Численные примеры 51
ГЛАВА 3. Структура образцов, методика и техника экспериментов 65
3.1. Изготовление и тестирование тонких аморфных металлических пленок 65
3.1.1. Вакуумное испарение вещества 65
3.1.2. Приготовление тонких пленок 66
3.1.3. Характеристики и методы тестирования исследуемых пленок 67
3.2. Принципы получения изображения при помощи АСМ 69
3.3. Измерение характеристик тонких пленок 71
3.3.1. Измерение толщины тонких пленок 71
3.3.2. Измерение проводимости тонких пленок 73
3.3.3. Измерение коэффициента отражения 75
Грава 4. Результаты экспериментальных исследований и их обсуждение 79
4.1. Исследование наноструктуры поверхности тонких аморфных металлических пленок 79
4.2. Исследование зависимости проводимости от толщины тонких пленок 88
4.3. Исследование отражающих свойств тонких аморфных металлических пленок, помещенных в СВЧ-поле 94
4.3.1. Зависимость коэффициента отражения от толщины металлического слоя 94
4.3.2. Сравнение результатов экспериментов с теорией 97
4.3.3. Частотные зависимости коэффициента отражения 99
Литература
