Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов
Скрябин, Андрей Станиславович. Плазмохимический метод прямого получения поликристаллического кремния из его оксидов : диссертация ... кандидата технических наук : 01.04.14 / Скрябин Андрей Станиславович; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2012.- 157 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2056