Введение
1 Литературный обзор 11
1.1 Углеродные наностенки 11
1.1.1 Методы получения и структура углеродных наностенок 11
1.1.2 Механизмы роста углеродных наностенок 28
1.1.3 Свойства и потенциальные области использования углеродных наностенок 33
1.2 Борнитридные наностенки 37
1.2.1 Методы получения и структура борнитридных наностенок 37
1.2.2 Свойства и потенциальные области использования борнитридных наностенок 39
1.3 Заключение 40
2 Экспериментальная часть 43
2.1 Механохимический синтез боразина 43
2.2 Термодинамическое моделирование процессов осаждения 44
2.3 PECVD синтез пленок нитрида бора 47
2.4 Методы исследования физико-химических свойств пленок 50
3 Результаты и их обсуждение 53
3.1 Термодинамическое моделирование процессов осаждения из газовой фазы пленок нитрида бора 53
3.1.1 Моделирование в системе B–N–H–O 54
3.1.2 Моделирование в системе B–N–H–O–Si 55
3.1.3 Моделирование в системах B–N–H–O–M (где M = Fe, Co, Ni) 57
3.1.4 Моделирование в системе B–N–H–O–Ga–As 60
3.2 Пленки и наностенки нитрида бора 63
3.2.1 Синтез и характеризация образцов, полученных из триэтиламинборана 63
3.2.1.1 Температурные зависимости изменения состава, морфологии и структуры 63
3.2.1.2 Кинетические исследования процесса осаждения наностенок 77
3.2.1.3 Влияние подложки на изменение состава, морфологии и структуры 79
3.2.1.4 Влияние частоты генератора 84
3.2.1.5 Термические, люминесцентные и антибактериальные свойства наностенок 86
3.2.2 Синтез и характеризация образцов, полученных из боразина 94
3.2.2.1 Влияние состава исходной газовой смеси 94
3.2.2.2 Температурные зависимости изменения состава, морфологии и структуры 99
3.2.2.3 Влияние подложки на изменение состава, морфологии и структуры 105
3.2.2.4 Кинетические исследования процесса осаждения наностенок 107
3.2.2.5 Термические и люминесцентные свойства наностенок 107
Результаты и выводы 118
Заключение 120
Список литературы 121
