Введение
Глава 1 Электрофизические свойства аморфного оксида алюминия (обзор литературы) 10
1.1. Структурные особенности кристаллических и аморфных модификаций оксида алюминия 10
1.1.1. Структурные особенности кристаллических модификаций оксида алюминия 10
1.1.2. Стр оение пленок аморфного оксида алюминия, полученного разными способами 14
1.2. Электрофизические свойства аморфных пленок оксида алюминия 22
1.3. Мето д молекулярного наслаивания выращивания тонких пленок 29
1.3.1. Особенности метода молекулярного наслаивания 29
1.3.2. Нанесение пленок оксида алюминия методом молекулярного наслаивания 39
1.4. Выводы из обзора литературы и постановка задач исследования 42
Глава 2 Методика эксперимента 45
2.1. Метод диэлектрической спектроскопии исследования свойств материалов 45
2.2. Схема экспериментальной установки и принцип работы диэлектрического спектрометра 48
2.3. Описание образцов и определение элементного состава оксидного слоя МДП – структур 55
Глава 3 Поляризационные свойства слоев аморфного оксида алюминия 62
3.1. Диэлектрическая релаксация в тонких слоях аморфного оксида алюминия 62
3.1.1. Температурно – частотная зависимость составляющих комплексной диэлектрической проницаемости 62
3.1.2. Перенос заряда в аморфных пленках оксида алюминия на переменном токе 73
3.1.3. Вольт – амперные характеристики структур Si / Al2O3 / Al 80
3.2. Влияние технологического фактора на диэлектрические свойства аморфных слоев оксида алюминия, полученных методом МН 89
3.2.1. Влияние условий синтеза (тип реагента) на диэлектрические свойства аморфных слоев оксида алюминия 89
3.3. Выводы по главе 3 112
Заключение 114
Список литературы 117
