Введение
1 Современное состояние технологии кремниевых солнечных элементов для солнечных батарей
1.1 Зарубежные и отечественные фотопреобразователи для солнечных батарей 9
1.2 Технологические решения 12
1.3 Методы контроля электрических параметров солнечных элементов 24
1.4 Технологические решения, направленные на снижение отражения света 28
1.5 Выводы по главе 32
2 Методы оценки и оптимизации основных параметров структур для солнечных элементов
2.1 Методика определения рекомбинационных параметров кремниевых структур солнечных элементов 33
2.2 Определение тока короткого замыкания солнечных элементов по измерению спектральной ампер-ваттной чувствительности 35
2.3 Анализ чувствительности солнечных элементов в ультрафиолетовой области спектра 38
2.4 Методика и программа для оптимизации параметров многослойных антиотражающих покрытий и структур солнечных элементов 42
2.5 Выводы по главе 49
3 Разработка технологии и методик контроля параметров полупроводниковых структур для кремниевых солнечных элементов
3.1 Анизотропное травление и изготовление экспериментальных мембранных образцов структур солнечных элементов на пластинах кремния с ориентацией [100] 50
3.2 Прецизионная регулировка толщины диффузионного слоя элементов солнечных батарей 65
3.3 Оптимизация топологии металлизации солнечных элементов 68
3.4 Стенд для измерения спектральной зависимости тока короткого замыкания солнечных элементов 73
3.5 Контроль механических напряжений в элементах солнечных батарей и полупроводниковых структурах 76
3.6 Выводы по главе 80
4 Исследование возможности использования алмазоподобных пленок в качестве просветляющих и защитных элементов солнечных батарей
4.1 Получение АПП и исследование их электрофизических параметров 81
4.2 Исследование возможности применения АПП в технологии изготовления СЭ 91
4.3 Влияние облучения на свойства алмазоподобных пленок и солнечных элементов, покрытых алмазоподобными пленками 97
4.4 Выводы по главе 100
Заключение 101
Список использованной литературы 102
Приложение 1. Текст программы 111
