Введение
Глава 1. Суперлюминесцентные диоды - широкополосные источники оптического излучения 26
1.1. Технологические аспекты создания суперлюминесцентных диодов 27
1.2. Оптическое усиление в полупроводниках 30
1.2.1. Типы полупроводниковых диодных гетероструктур 30
1.2.2. Транспорт носителей заряда в полупроводниковых гетероструктурах 35
1.2.3. Волноводные свойства оптоэлектронных светоизлучающих полупроводниковых приборов 40
1.2.4. Оптическое усиление в полупроводниковых приборах 48
1.2.5. Основные требования и критерии, предъявляемые к суперлюминесцентным диодам с низкой спектральной модуляцией 51
1.2.6. Оптимальная конструкция активного элемента суперлюминесцентного диода 54
1.3. Основные выходные параметры суперлюминесцентных диодов 59
1.4. Способы уширения полосы излучения суперлюминесцентных диодов. Обзор литературы 73
1.5. Области применения суперлюминесцентных диодов 82
1.6. Выводы 84
Глава 2. Разработка широкополосных суперлюминесцентных диодов на основе полупроводниковых гетероструктур 86
2.1. Экспериментальные образцы и методика измерений 87
2.2. Широкополосные суперлюминесцентные диоды спектрального диапазона 760-970 нм 92
2.3. Широкополосные источники излучения в спектральной области 1550 нм на основе квантоворазмерных суперлюминесцентных диодов 104
2.4. Теоретическая модель двухпроходного суперлюминесцентного диода со спектрально-селективным отражателем 110
2.4.1. Модель I 113
2.4.2. Модель II 117
2.4.3. Экспериментальные результаты 123
2.5. Широкополосные суперлюминесцентные диоды спектрального диапазона 950 нм с пространственно-неоднородной инжекцией на основе полупроводниковых квантоворазмерных гетероструктур 131
2.6. Выводы : 140
Глава 3. Широкополосные источники света на основе объединения излучения различных суперлюминесцентных диодов 143
3.1. Технологические аспекты создания широкополосного источника света на основе объединения излучения различных суперлюминесцентных диодов 143
3.2. Оптические разветвители и ответвители 148
3.3. Экспериментальные результаты 159
3.4. Выводы 187
Заключение 188
Литература 192
Приложение А. Технологический маршрут производства односекцион ных суперлюминесцентных диодов с однородной инжекцией 205
Приложение В. Руководство и инструкция по эксплуатации широкополосного источника света "BroadLighter" на основе объединения различных суперлюминесцентных диодов с помощью оптических разветвителей 211
Приложение С. Акт практического использования результатов диссертационной работы 219
