Введение
Глава 1. Взаимодействие плазмы с «первой» стенкой термоядерного реактора, методы исследования углеводородных пленок 10
1.1. Взаимодействие плазмы с «первой» стенкой термоядерного реактора 10
1.2. Методы исследования углеводородных пленок 12
1.3. Спектроскопия отраженных электронов 27
Глава 2. Получение углеводородных пленок и методы их исследования на основе спектроскопии отраженных электронов 34
2.1. Получение углеводородных пленок 34
2.2. Реализация метода СОЭ на «Электронном стенде» кафедры ОФиЯС 37
2.2.1. Общее описание «Электронного стенда» кафедры ОФиЯС 37
2.2.2. Вакуумная система 40
2.2.3. Измерительная система 42
2.2.4. Модернизация «Электронного стенда» кафедры ОФиЯС 43
2.2.5. Особенности проведения экспериментов 46
2.3. Реализация метода СОЭ с помощью модуля электронно-ионной спектроскопии на базе платформы Нанофаб 25 49
2.3.1. Общая схема модуля электронно-ионной спектроскопии на базе платформы Нанофаб 25 49
2.3.2. Вакуумная система 51
2.3.3. Спектрометр характеристических потерь 54
2.3.4. Электронные пушки 56
2.3.5. Демонстрация энергетического разрешения модуля ЭИС 59
2.3.6. Подготовка исследуемых образцов в аналитической камере и проведение исследований 60
2.4. Статистическое моделирование рассеяния электронов 62
2.4.1. Спектроскопия упругоотраженных электронов 62
2.4.2. Моделирование рассеяния частиц методом Монте-Карло 63
2.4.3. Свойства углеводорода 69
Глава 3. Результаты моделирования и экспериментальные спектры упругоотраженных электронов от углеводородных пленок 72
3.1. Введение 72
3.2. Влияние угла падения электронного пучка на спектр упругоотраженных электронов 72
3.3 Влияние стехиометрического коэффициента водорода на спектр упруготраженных электронов 75
3.4. Влияние неоднородности распределения водорода по глубине на спектр упругоотраженных электронов 76
3.5. Пики упругоотраженных электронов от водорода и дейтерия 77
3.6. Влияния на формы пика упругоотраженных электронов многократного упругого рассеяния 79
Глава 4. Обработка экспериментальных данных. Определение послойного профиля водорода в слое углеводорода 85
4.1. Введение 85
4.2. Метод определения послойного профиля водорода в слое углеводорода 86
4.3. Послойные профили водорода 89
Заключение 97
Библиографический список 99
Список публикаций по теме диссертации 108
