Введение
Глава 1. Анализ проблемы контактной интерферометрии в области измерений геометрических величин 10
1.1. Методы контактной интерферометрии и их место в метрологическом обеспечении машиностроения 10
1.2. Анализ интерференционных методов измерения геометрических величин 18
1.3. Анализ контактных интерферометров 20
1.4. Методы регистрации и обработки интерференционных изображений - 27
1.5. Постановка задач исследования 33
Глава 2. Математическое моделирование и теоретическое исследование контактного интерферометра с цифровой обработкой изображения 34
2.1. Математическая модель интерференционного сигнала в интерферометрах белого света 34
2.2. Анализ оптико-электронной системы на основе ПЗС-матрицы 44
2.3. Анализ погрешности формирования интерференционного изображения в измерительной системе 51
2.4. Методы цифровой обработки интерференционных изображений 61
2.5. Основные выводы 68
Глава 3. Разработка компьютеризированного интерферометра на основе ИКПВ и его экспериментальное исследование 70
3.1. Структура компьютеризированного интерферометра 70
3.2. Анализ фоточувствительных приборов с зарядовой связью 72
3.3. Выбор и интеграция узлов компьютеризированного интерферометра 80
3.4. Алгоритмы обработки интерференционных изображений 83
3.5. Разработка программно-математического обеспечения 88
3.6. Экспериментальное исследование метода определения середины полосы 93
3.7. Экспериментальное исследование компьютеризированного интерферометра 97
3.8. Метрологические характеристики и преимущества компьютеризированного интерферометра 99
Глава 4. Внедрение компьютеризированного интерферометра и пути его дальнейшего развития 104
4.1. Объекты внедрения компьютеризированного интерферометра 104
4.2. Компьютеризированный интерферометр для поверки стеклянных пластин 108
4.3. Компьютеризированный интерферометр для поверки установочных колец 110
4.4. Компьютеризированный интерферометр для поверки роликов и проволочек 114
4.5. Пути дальнейшего развития компьютеризированного интерферометра 117
Заключение
