Введение
1. Протонообменные волноводы на монокристалле ниобаталития (литературный обзор) 12
1.1. Структура и свойства монокристалла ниобата лития 12
1.1.1. Структурные особенности ниобата лития 12
1.1.2. Свойства кристалла 15
1.2. Водород в ниобате лития 17
1.2.1. Позиции протонов в кристаллической решетке 18
1.2.2. Протон замещения, вид потенциальной энергии 22
1.3. Оптические волноводы и их применение 23
1.4. Протонообменные волноводы на ІЛМЮз 26
1.4.1. Этапы изучения 26
1.4.2. Специфика протонного обмена в ниобате лития 27
1.4.3. Превращения в порошках HxLii xNb03 28
1.4.4. Протонообменные монокристаллические слои 29
1.4.5. Структурно-фазовая диаграмма для HxLij xNb03 напряженного твердого раствора 31
1.4.6. Закономерности формирования ПО фаз 35
1.4.7. Сравнение напряженных и ненапряженных фаз 35
1.4.8. Корреляция концентрации протонов с показателем преломления 36
1.4.9. Особенности послеобменного отжига 39
1.4.10. Сопоставление данных ИК-спектроскопии и КРС с СФД 41
1.5. Обратимые фазовые переходы в ПО волноводных слоях 43
1.6. Деструкция поверхности ПО волноводного слоя 44
1.7. Гибридные волноводы 45
1.8. Выводы по обзору литературы 46
2. Методы исследования 49
2.1. Оптическая профилометрия 50
2.2. Оптическая микроскопия 54
2.3. Электронная сканирующая микроскопия 54
2.4. Модовая спектроскопия 54
2.4.1. Измерение набора эффективных показателей преломления 56
2.4.2. Расчет эффективных показателей преломления по распределению показателя преломления по глубине слоя 57
2.4.3. Реконструкция профиля показателя преломления волновода 59
2.5. Рентгеновская дифрактометрия 62
2.5.1. Определение деформации кристаллической решетки 63
2.5.2. Регистрация дифракционных спектров 66
2.5.3. Анализ погрешности при вычислении деформации решетки 68
2.5.4. Вычислительные процедуры 70
2.6. Методика проведения эксперимента 71
3. Экспериментальные результаты и их анализ 80
3.1. Образцы первой и второй групп 80
3.1.1. Идентификация фазового состава 80
3.1.2. Анализ поверхности образцов первой и второй групп 96
3.2. Образцы третьей группы 128
3.2.1. Сравнительный анализ поверхности волноводных слоев второй и третьей групп 128
3.2.2. Результаты измерения профиля показателя преломления и кривых качания образцов третьей группы 137
Заключение 149
Основные результаты диссертации опубликованы в работах 150
Благодарности 155
Список использованной литературы 156
