Введение
Глава 1. Экспериментальное оборудование и методы исследования 31
Глава 2. Особенности образования трёхмерных островков германия на поверхности Si(lll)7 х 7 по механизму Странского-Крастанова 57
Глава 3. Создание наноструктур германия и кремния с помощью зонда СТМ 98
Глава 4. Начальные стадии оксидирования поверхности кремния кислородом при повышенных температурах 142
Глава 5. Взаимодействие кислорода с поверхностью кремния вблизи критических условий 182
Глава 6. Образование островков германия и кремния на оксидированной поверхности кремния 211
Заключение 265
Статьи автора, составляющие основу диссертации 271
Цитируемая литература 275
