Введение
ГЛАВА 1. Анализ современного состояния области исследования 9
1.1 Методы осаждения покрытий в вакууме 9
1 2 Методы контроля толщины тонких пленок в вакууме 13
1.2.1 Весовой метод 17
1.2.2 Метод кварцевого резонатора 19
1.2.3 Фотометрический метод 24
1.2.4 Резистивный метод 29
1.2.5 Емкостные методы t 31
1.2.6 Вибрационный метод 35
13 Выводы по первой главе и постановка задач исследований 37
ГЛАВА 2 . Разработка и исследование емкостного датчика толщины покрытий, наносимых в вакууме 42
2.1 Емкостный метод контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме 42
2.2 Разработка емкостного датчика , 43
2.2.1 Конструкция емкостного датчика f t 43
2.2.2 Математическая модель емкостного датчика 45
2.2.3 Чувствительность емкостного датчика 61
2.2.4 Погрешность емкостного датчика 62
2.2.5 Измерительные схемы для емкостного датчика 63
2.3 Выводы по второй главе 67
ГЛАВА 3 . Разработка и исследование автоматизированной системы контроля толщины покрытий, наносимых в вакууме 68
3.1 Классификация автоматизированных систем 69
3.2 Разработка аппаратного обеспечения АС 69
3.2 J Анализ возможных путей реализации устройства сопряжения 70
3.2.2 Связь УС с персональным компьютером - * 72
3.2 J Управление заслонкой и коммутация сигналов 72
3.3 Разработка программного обеспечения АС 73
3.4 Выводы по третьей главе 75
ГЛАВА 4 . Техническая реализация и экспериментальное исследование характеристик емкостного датчика толщины покрытий, наносимых в вакууме 76
4, 1 Опытный образец емкостного датчика толщины покрытий и устройства сопряжения 76
4-2 Оборудование и техника экспериментов 78
4-2.1 Разработка устройства ввода данных от измерительного оборудования в ПК 83
4.2.2 Разработка программного обеспечения для устройства ввода данных от измерительного оборудования в ПК 88
4.3 Результаты экспериментального исследования датчика 92
4.4 Выводы по четвертой главе 108
заключение 109
список использованных источников 111
приложение а. алгоритмы программы 122
приложение б. акты внедрения 125
приложение В,
