Введение
Глава 1. Литературный обзор
1.1. Колебательный спектр ИК-поглощения межузельного кислорода в кремнии 8
1.2. Растворимость и диффузия кислорода в кремнии 10
1.3. Кислородные комплексы в термообработанном кремнии 15
1.4. Преципитация кислорода в кремнии 16
1.5. Технология внутреннего геттерирования 20
1.6. Изовалентные примеси 23
Глава 2. Моделирование кинетики образования кластеров
2.1. Моделирование кинетики образования кластеров (двухмерная модель) 27
2.2. Определение фрактальной размерности 28
2.3. Описание кинетики роста фрактального кластера 30
2.4. Влияние температуры на геометрию фрактальных кластеров 32
2.5. Влияние анизотропии кристалла на геометрию фрактальных кластеров 36
2.6. Моделирование кинетики образования кластеров в решетке типа алмаз 39
2.7. Термодинамика превращения кислородных кластеров в преципитаты 46
Глава 3. Исследование кинетики преципитации кислорода в кремнии, легированном цирконием
3.1. Моделирование кинетики преципитации кислорода в кремнии 54
3.1.1. Моделирование кинетики роста октаэдрических и пластинчатых кислородных преципитатов в кремнии 55
3.2. Экспериментальное исследование преципитации кислорода в кремнии, легированном цирконием 59
3.2.1. Методика определения концентрации межузельного кислорода в кремнии..61
3.2.2. Экспериментальные данные по кинетике преципитации кислорода в кремнии 64
3.3. Моделирование процесса "внутреннего геттерирования" 69
ГЛАВА 4. Исследование электрических свойств кремния, легированного цирконием
4.1. Измерение удельной электрической проводимости полупроводников 77
4.2. Экспериментальное исследование кислородных комплексов в термообработанном кремнии 78
4.3. Технология изготовления омических контактов (никель) на подложке 83
4.4. Примесная проводимость полупроводников. Температурная зависимость электропроводимости примесных полупроводников 85
4.5. Измерение термостимулированной ёмкости 88
4.6. Обработка спектров фотопроводимости исследуемых образцов 90
Заключение
Литература
Приложения
