Введение
1. Аналитический обзор литературы 10
1.1. Основные параметры твердого раствора Si - Ge 11
1.2. Классификация квантоворазмерных структур 15
1.3. Применение квантоворазмерных структур в микро- и оптоэлектронике 16
1.4. Основные методы получения упорядоченных наноразмерных структур 17
1.5. Механизмы формирование слоя с квантовыми точками 18
1.6. Рост и особенности упорядочения нанокластеров Ge 20
1.7. Размеры и плотность островков 25
1.7.1. Максимальный размер квантовой точки 25
1.7.2. Структурное совершенство, плотность и однородность на-ноостровков 26
1.8. Изменение параметров островков в процессе отжига 27
1.9. Оптические свойства структур с Si-Ge квантовыми точками 31
1.10. Электрические свойства тонких слоев германия на кремнии 34
1.11. Ионная имплантация - новый способ получения упорядоченных квантоворазмерных гетероструктур GexSii.x 36
Краткие выводы и постановка задачи 38
2. Экспериментальная часть 40
2.1. Получение самоупорядоченных Si-Ge наноструктур 40
2.1.1. Ионная имплантация германия в кремний 40
2.1.2. Постимплантационный отжиг полученных структур 41
2.2. Исследование полученных структур 42
2.2.1. Распределение имплантированного германия по глубине кремния 43
2.2.2. Кристаллическое совершенство слоя и подложки (рентгеноструктурный анализ) 47
2.2.3. Пространственное распределение кластеров Si-Ge в слое твердого раствора (атомно-силовая и растровая электронная микроскопии) 54
2.2.4. Элементный состав кремний - германиевых наноструктур 56
2.2.4.1. Факторный анализ для обработки оже-сигналов для наноэлектроники 62
2.2.5. Квантово - оптические свойства структур с квантовыми точками 65
Выводы к главе 2 72
3. Кинетика кластеризации атомов германия в приповерхпостном слое кремния 73
3.1. Кинетические коэффициенты образования кластера 74
3.2. Преципитация дефектов, ограниченная диффузией 76
3.3. Модель кластеризации атомов, однородно распределенных по объему кристалла 79
3.4. Модель кластеризации атомов, неоднородно распределенных по объему кристалла 81
3.5. Расчет начальных условий кластеризации 82
3.6. Результаты моделирования кластеризации атомов, неоднородно распределенных по объему кристалла 85
Выводы к главе 3 93
Заключение 94
Список цитируемой литературы 96
Список основных публикаций по теме диссертационной работы 100
