Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках
Панфилов Игорь Владимирович. Применение математического моделирования для анализа процессов теплообмена при выращивании монокристаллов кремния методом Чохральского в промышленных установках : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2002.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2782-4
