Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС
Чухраев Игорь Владимирович. Повышение оперативности управления технологическим процессом получения подзатворного диэлектрика МДП-ИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Калуга, 2002.- 172 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1510-1