Введение
Глава 1. Золь-гель метод синтеза особо чистых стекловидных материалов и формирование диэлектрических пленок (Литературный обзор) .9
1.1. Требования предъявляемые к стекловидным диэлектрическим пленкам в технологии микроэлектроники 9
1.2 Низкотемпературные жидкофазные методы синтеза 14
1.2.1. Метод соосаждения 14
1.2.2. Топохимический метод 16
1.2.3. Золь-гель метод
1.3. Способы формирования пленок из растворов.. 33
1.4. Применение стекловидных диэлектрических материалов и пленок на их основе, полученных золь-гель методом. Перспективы развития золь-гель метода 37
Выводы к главе 1 45
Глава 2. Методики исследования и методы подготовки образцов 47
2.1. Синтез материалов золь-гель методом 47
2.2. Подготовка образцов к исследованию 47
2.3. Методики исследования свойств растворов и стекловидных материалов 48
2.4. Формирование стекловидных пленок на кремниевых пластинах и исследование их свойств 49
Выводы к главе 2... 56
Глава 3. Синтез стекловидных диэлектриков золь-гель методом и исследование их свойств 57
3.1. Синтез материалов золь-гель методом 57
3.1.1. Выбор составов стекловидных материалов 57
3.1.2. Синтез материалов систем: Si02-B203, Si02-P205, Si02-B203-P205
3.1.3. Синтез материала системы BaO-Al203-Si02 60
3.2. Исследование влияния режимов синтеза на процесс гидроксополимеризации 60
3.3. Дериватографические исследования 74
3.4. Исследование термических и диэлектрических свойств синтезированных стекловидных материалов 93
3.5. ИК-спектроскопические исследования 93
3.6. Исследование синтезированных материалов методом РФА 99
3.7. Механизм золь-гель процесса синтеза гелей 101
Выводы к главе 3 102
Глава 4. Синтез стекловидных диэлектрических пленок методом золь-гель и исследование их свойств 104
4.1. Выбор составов компонентов для синтеза полуколлоидных растворов и пленок на их основе 104
4.2. Исследование влияния режима синтеза полуколлоидных растворов на процесс гидроксополимеризации 105
4.3 Исследования оптического показателя преломления 113
4.4 Исследования кристаллизационной способности стекловидных пленок методом рентгенофазового анализа 120
4.5 ИК-спектроскопические исследования пленок 122
4.6 Исследования влагостойкости пленок 131
4.7 Исследования скорости химического травления стекловидных пленок 133
4.8 Исследование механических напряжений в стекловидных пленках 135
4.9 Исследование электро-физических свойств стекловидных пленок. 137
4.10 Исследование пористости стекловидных пленок 140
Выводы к главе 4 142
Глава 5. Применение стекловидных диэлектрических пленок . 144
5.1 Заполнение ступенчатого рельефа подложки стекловидными диэлектрическими пленками. 144
5.2 Применение стекловидных диэлектрических пленок для планаризации межслойного диэлектрика в многоуровневых СБИС 148
Выводы к главе 5 .154
Общие выводы 155
Список использованных литературных источников
