Введение
1. Прямые методы элементного и изотопного анализа 8
1.1. Рентгеновские методы элементного анализа 8
1.1.1.Рентгенофлуоресцентный анализ (РФА) 8
1.1.2. Электронно-зондовый микроанализ (ЭЗМА) 10
1.1.3. Электронная Оже-спектроскопия (ЭОС) 11
1.1.4. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 12
1.2. Ядерно-физические методы элементного и изотопного анализа 14
1.2.1. –спектрометрия 14
1.2.2. -спектрометрия 15
1.2.3. Нейтронно-активационный анализ (НАА) 16
1.3. Оптические эмиссионные методы элементного анализа 18
1.3.1. Лазерно-искровая эмиссионная спектрометрия (ЛИЭС) 18
1.3.2. Оптическая эмиссионная спектроскопия с лазерной абляцией и индуктивно-связанной плазмой (ЛА ИСП ОЭС) 20
1.3.3. Оптическая эмиссионная спектроскопия с тлеющим разрядом (GDOES) 21
1.4. Масс-спектральные методы элементного и изотопного анализа 23
1.4.1. Искровая масс-спектрометрия (SSMS) 25
1.4.2. Масс-спектрометрия с ионизацией лазером (МСИЛ) 26
1.4.3. Лазерная абляция с масс-спектрометрией с индуктивно связанной плазмой (ЛА ИСП МС) 28
1.4.4. Масс-спектрометрия вторичных ионов (ВИМС) 32
1.4.5. Масс-спектрометрия с тлеющим разрядом (GDMS)
4.5.1. Основы метода 35
1.4.5.2. Аналитические возможности метода 40
1.4.5.3. Градуировка, метод RSF 43
1.4.5.4. Интерференции, мешающее влияние воды и кислорода 44
1.4.5.5. Особенности анализа непроводящих материалов 48
2. Используемые методы исследования и приборы 51
2.1. Оптический эмиссионный спектрометр с тлеющим разрядом (GDOES) GDA-650.. 51
2.2. Масс-спектрометр с импульсным тлеющим разрядом (GDMS) Люмас-30 53
2.3. Выбор эффективной схемы распыления непроводящих материалов з
3. Установление механизма распыления непроводящих проб в КПК 65
4. Определение коэффициентов RSF для импульсного разряда в КПК, сравнение с непрерывными разрядами 77
5. Устранение мешающего влияния воды и кислорода 87
6. Прямой анализ полупроводниковых материалов: Si, SiC, GaN 96
7. Прямой анализ диэлектрических материалов на примере урансодержащих минералов, порошковых проб и микрочастиц
7.1. Элементный анализ. Определение U и Th в минералах 107
7.2. Изотопный анализ
7.2.1. Изотопный анализ минералов. Определение изотопных соотношений U, Pb .. 129
7.2.2. Изотопный анализ Чернобыльских микрочастиц 131
8. Детектирование структуры сапфира с помощью DC PGD TOFMS 140
Заключение 152
Выводы 154
Список используемых сокращений 155
Список литературы
