Введение
Глава 1. Обзор литературы 9
1.1. Принципы формирования пучка газовых кластерных ионов. 9
1.1.1. Расширение газа через сверхзвуковое сопло. 10
1.1.2. Экспериментальные исследования потока газа, выходящего из сопла . 19
1.1.3. Формирование потока ионизированных кластеров. 25
1.2. Взаимодействие атомарных и кластерных ионов с поверхностью. 29
1.2.1. Общие характеристики взаимодействия. 29
1.2.2. Взаимодействие атомарных ионов с поверхностью. 31
1.2.3. Взаимодействие кластерных ионов с поверхностью 38
1.3. Выводы по главе 1. 52
Глава 2. Ускоритель газовых кластерных ионов: режим импульсной подачи газа . 53
2.1. Описание экспериментальной установки 53
2.2. Системы анализа пучка . 57
2.3. Особенности импульсного режима работы 59
2.4. Выводы по главе 2 69
Глава 3. Визуализация потока газа из сверхзвукового сопла . 70
3.1. Постановка задачи 70
3.2. Методика эксперимента 71
3.3. Исследование истечения газа из сверхзвукового сопла .
3.3.1. Кольцевой электрод 74
3.3.2. Плоские электроды 76
3.4. Выводы по главе 3 83
Глава 4. Угловые распределения атомов при распылении кластерными ионами. 84
4.1 Постановка задачи 84
4.2 Методика эксперимента 85
4.3 Угловые распределения при распылении однокомпонентных мишеней.
4.4. Угловые распределения при распылении многокомпонентных мишеней . 94
4.5. Выводы по главе 4 98
Глава 5. Сглаживание рельефа поверхности при облучении кластерными ионами 99
5.1 Постановка задачи 99
5.2 Методика эксперимента 100
5.3 Результаты и обсуждение. 101
4.5. Выводы по главе 5 111
Заключение. 112
Список литературы
