Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами
Кирюшина Ирина Васильевна. Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 196 c. РГБ ОД, 61:04-5/790-X