Введение
Глава 1. Литературный обзор 11
1.1. Способы формирования кремниевых наноструктур 11
1.2. Электрофизические характеристики электролитического травления кремния 15
1.3. Электрохимические процессы на границе кремний/электролит 18
1.4. Модели формирования пор 20
1.5. Факторы, влияющие на процессы формирования пористого кремния 22
1.6. Морфология микроструктуры слоев пористого кремния 26
1.7. Структурные свойства пористого кремния 27
1.8. Влияние окружающей среды на химический состав поверхности пористого кремния 32
1.9. Транспортные свойства пористого кремния 36
1.10. Фазовый переход вода-лед в пористой твердотельной матрице 48
Глава 2. Методика эксперимента 58
2.1. Получение экспериментальных структур 58
2.2. Вакуумно-адсорбционная установка. Подготовка адсорбатов 64
2.3. Методика измерения статических вольт-амперных характеристик структур 66
2.4. Измерение импеданса структур 68
2.5. Методика измерения ИК спектров пропускания 70
Глава 3. Экспериментальные результаты и их обсуждение 75
3.1. Кинетика изменения электропроводности системы плотно упакованных наночастиц S1O2 и системы Si-ПК-Ме при адсорбции и десорбции воды в тонких капиллярах 75
3.2. Особенности электропереноса системы Si-nK(H20)-Me вблизи фазового перехода 84
3.3. Проводимость системы Si-OnK(H20)-Me вблизи фазового перехода 88
3.4. Проводимость системы плотно упакованных наночастиц Si02 в области температур вблизи фазового перехода вода-лед 96
3.5. Изменение состояния поверхности ПК под воздействием воздуха 100
3.6. Изменение химического состава поверхности ПК под воздействием паров воды 106
3.7. Зависимость проводимости системы Si-ПК-Ме в области фазового перехода от времени выдерживания в парах воды 107
3.8. Кинетика изменения зарядового транспорта системы Si-ПК-Ме при воздействии воды в течение 2-5 суток 112
3.9. Исследование транспортных свойств ПК при воздействии паров воды в течение 6-8 и более суток 116
Выводы диссертационной работы 120
Благодарности 124
Литература 125
