Разделение изотопов кремния методом химического обмена с термическим обращением потоков между SiF4 и его комплексными соединениями донорно-акцепторного типа
Чередниченко Сергей Анатольевич. Разделение изотопов кремния методом химического обмена с термическим обращением потоков между SiF4 и его комплексными соединениями донорно-акцепторного типа : дис. ... канд. техн. наук : 05.17.01 Москва, 2006 199 с. РГБ ОД, 61:07-5/112