Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений
Лазарев Григорий Леонидович. Разработка и исследование цифрового интерференционного микроскопа для прецизионных измерений малых высот и наноперемещений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.07 / Лазарев Григорий Леонидович; [Место защиты: ГОУВПО "Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана"].- Москва, 2007.- 121 с.: ил.
