Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC
Кочеров Александр Николаевич. Разработка и исследование фотонно-стимулированных технологических процессов получения оксидных пленок кремния на SiC : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Таганрог, 2004 145 c. РГБ ОД, 61:04-5/4161