Введение
ГЛАВА 1. Обзор-анализ приборов и средств метрологического обеспечения в области измерения потоков газа в вакууме 12
1.1 Современное состояние метрологического обеспечения в области измерений потока газа в вакууме и его соответствие требованиям промышленности 12
1.2 Сравнительный анализ существующей эталонной базы в области измерений потока газа в вакууме 20
1.3 Анализ практической реализации методов измерений потока газа в вакууме 26
1.4 Выводы к главе 1 32
ГЛАВА 2. Математические модели измерения газовых потоков 36
2.1 Исследование предельных измерительных возможностей методов воспроизведения единицы потока газа в вакууме 37
2.1.1 Исследование неопределенностей измерений потока газа методом постоянного давления 37
2.1.1.1 Неопределенности, связанные с измерением давления. 38
2.1.1.2 Неопределенности, связанные с измерением изменений объема 38
2.1.1.3 Неопределенности, связанные с измерением интервала времени измерений40
2.1.1.4 Анализ предельных измерительных возможностей метода постоянного давления 41
2.1.2 Исследование составляющих неопределенности измерений потока газа методом накопления (кумуляционным) 42
2.1.2.1 Неопределенности, связанные с измерением объема 43
2.1.2.2 Погрешности, связанные с измерением изменений давления 44
2.1.2.3 Анализ предельных измерительных возможностей метода накопления 44
2.1.3 Исследование составляющих неопределенности измерений потока газа
методом калиброванного сопротивления (редукции давления) 45
2.1.3.1 Неопределенности, связанные с измерением перепада давления 46
2.1.3.2 Неопределенности, связанные с измерением проводимости элемента. 46
2.1.3.3 Анализ предельных измерительных возможностей редукционного метода 47
2.1.4 Выводы к параграфу 48
2.2 Математические модели методов измерений газовых потоков 49
2.2.1 Статические модели измерений 52
2.2.2 Динамические модели измерений 62
2.3 Выводы к главе 2 65
ГЛАВА 3. Практическая реализация эталонной установки 70
3.1 Исследование путей повышения точности измерения потока газа за счет средств измерения давления 70
3.2 Общие инженерные решения, реализованные в эталонной установке 78
3.3 Практическая реализация и анализ погрешности кумуляционного измерительного блока 3.3.1 Устройство кумуляционного измерительного блока 81
3.3.2 Измерение потока газа кумуляционным измерительным блоком 84
3.2.1 Обработка результатов измерений и анализ неопределенности измерений кумуляционного измерительного блока 90
3.4 Практическая реализация и анализ неопределенности редуктометрического измерительного блока эталонной установки 96
3.4.1 Устройство редуктометрического измерительного блока 96
3.4.2 Методика измерений редуктометрического измерительного блока 99
3.4.3 Обработка результатов измерений и анализ неопределенности измерений редуктометрического измерительного блока
3.5 Использование жидкостно-механического измерительного блока 109
3.6 Исследование дополнительных неопределенностей, возникших при практических измерениях потока газа в вакууме 110
3.7 Методика калибровки вторичного эталона и поверочная схема для СИ потока газа в вакууме 115
3.8 Выводы к главе 3 116
Заключение 119
Список источников
