Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планиризации
Гладких, Алексей Алексеевич. Разработка и исследование методов проектирования СБИС с учетом результатов моделирования процесса химико-механической планиризации : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.12 / Гладких Алексей Алексеевич; [Место защиты: Ин-т проблем проектирования в микроэлектронике РАН].- Москва, 2013.- 178 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1480
