Введение
ГЛАВА 1. Анализ методов расчета и проектирования пьезорезистивных микроакселерометров 10
1.1. Области применения и особенности эксплуатации пьезорезистивных микроакселерометров 10
1.2. Конструктивно-технологические особенности пьезорезистивных микроакселерометров 16
1.3. Основные метрологические и механические параметры пьезорезистивных микроакселерометров 24
1.4. Методы расчета и проектирования микроакселерометров 32
1.5. Постановка цели и задач исследований 37
1.6. Выводы 38
ГЛАВА 2. Исследование механических и метрологических характеристик пьезорезистивных микроакселерометров 41
2.1. Моделирование механической системы и динамический анализ микроакселерометра 41
2.2. Расчет перемещений и деформаций чувствительного элемента консольного типа 48
2.3. Расчет основных метрологических характеристик пьезорезистивного микроакселерометра 54
2.4. Расчет ударной прочности микроакселерометра 58
2.5. Численное моделирование и оптимизация характеристик микроакселерометра 61
2.6. Выводы 69
ГЛАВА 3. Разработка и экспериментальное исследование пьезорезистивных микро акселерометров 71
3.1. Разработка конструкций пьезорезистивных микроакселерометров 71
3.2. Экспериментальные исследования механических и метрологических характеристик микроакселерометров балочного типа 77
3.3. Исследование демпфирующих характеристик микроакселерометров 81
3.4. Исследование температурных характеристик микроакселерометров 91
3.5. Исследования метрологических характеристик микроакселерометров рамочного типа 97
3.6. Выводы 101
ГЛАВА 4. Методики проектного расчета и разработка опытных образцов микроакселерометров 103
4.1. Методика расчета механических и метрологических характеристик пьезорезистивных микроакселерометров 103
4.2. Методика оптимизации параметров инерционной массы пьезорезистивных микроакселерометров 105
4.3. Методика выбора параметров жидкостного демпфера 107
4.4. Разработка опытных образцов пьезорезистивных микроакселерометров 109
4.5. Выводы 116
Заключение 117
Список литературы 119
Приложение. Акты использования результатов
Диссертационной работы 131
