Введение
ГЛАВА 1. Применение наноструктурированных пленок оксида цинка в устройствах газовой сенсорики 15
1.1 Свойства оксида цинка 15
1.2 Применение пленок ZnO в чувствительных элементах газовых сенсоров 22
1.3 Методы формирования пленок ZnO 31
1.4 Выводы и постановка задачи 40
ГЛАВА 2. Теоретические исследования процессов импульсного лазерного осаждения и свойств оксида цинка 43
2.1 Исследование параметров факела при импульсном лазерном осаждении наноструктурированных пленок ZnO 43
2.2 Моделирование электрофизических свойств ZnO 54
2.3 Моделирование газочувствительных свойств ZnO 66
2.4 Выводы по главе 2 75
Глава 3. Экспериментальные исследования режимов формирования наноструктурированных пленок zno методом импульсного лазерного осаждения 77
3.1 Влияние технологических режимов импульсного лазерного осаждения на электрофизические параметры наноструктурированных пленок ZnO 77
3.2 Влияние температуры отжига на электрофизические параметры нанокристаллических пленок ZnO 93
3.3 Влияние режимов ионной стимуляции при импульсном лазерном осаждении на электрофизические параметры наноструктурированных пленок ZnO 97
3.4 Исследование стабильности зависимости удельного сопротивления наноструктурированных пленок ZnO от температуры при термоциклировании. 104
3.5 Выводы по главе 3 119
Глава 4. Разработка конструкции и технологии изготовления чувствительного элемента газового сенсора 121
4.1 Разработка чувствительного элемента порогового газового сенсора на основе наноструктурированных пленок ZnO 121
4.2 Исследование чувствительного элемента порогового газового сенсора 129
4.3 Разработка конструкции и технологического маршрута изготовления чувствительного элемента газового сенсора на основе наноструктурированных пленок ZnO 135
4.4 Выводы по главе 4 139
Заключение 140
Список сокращений 142
Список используемых источников 143
