Введение
Глава 1. Разработка и исследование технологических основ создания пленок на основе VOx 10
1.1. Исследование влияния легирующих примесей на характер температурной зависимости сопротивления пленок VOx 10
1.2. Резистивный метод контроля толщины тонких пленок ванадия 19
1.3. Метод вакуумного напыления пленки ванадия на диэлектрические подложки 23
1.4. Окисление тонких пленок ванадия в условиях воздушной среды 33
1.5. Морфология тонких пленок VOx 40
Глава 2. Исследование параметров болометра 52
2.1. Исследования температурной зависимости удельного сопротивления термочувствительного слоя 52
2.2. Спектральный коэффициент пропускания термочувствительного элемента на основе пленок VOx 65
2.3. Исследование энергетической экспозиции болометра
2.5. Исследование быстродействия и вольтовой чувствительности болометра 75
2.6. Исследование шумов и эксплуатационных параметров болометра
2.5 Отжиг пленок VOx в вакууме 86
Глава 3. Разработка конструкции неохлаждаемого болометра и измерительного модуля на его основе 91
3.1. Разработка конструкции неохлаждаемого болометра 91
3.2. Разработка конструкции измерительного модуля на основе неохлаждаемого болометра 99
Заключение 105
Список литературы 108
