Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы
Царик, Константин Анатольевич. Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Царик Константин Анатольевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МИЭТ].- Москва, 2011.- 158 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/304