Введение
Глава 1. Основные направления развития электроразрядных ЭУФ лазеров 12
1.1. Коротковолновый спектр электромагнитного излучения и основные подходы к созданию лазеров ЭУФ диапазона 12
1.2. ЭУФ лазеры на плазме многократно ионизованных ионов, получаемых в капиллярных разрядах 19
1.3. Импульсные системы питания ЭУФ лазеров и их согласование с параметрами капиллярных разрядов 23
1.3.1 Импульсные источники на основе конденсаторов 23
1.3.2 Импульсные источники на основе длинных линий 35
1.3.3 Импульсные источники на основе плазменных размыкателей 51
1.3.4. Импульсные источники на основе магнитных ключей 53
1.4. Постановка цели и задач диссертационной работы 55
Глава 2. Разработка и исследование высоковольтных импульсных генераторов 58
2.1. Наносекундные генераторы высоковольтных импульсов на линиях с жидким диэлектриком 60
2.2. Наносекундные генераторы на магнитных ключах 65
2.3. Многоканальный генератор высоковольтных импульсов на базе ДФЛ с бумаго-масляной изоляцией 69
2.4. Численное исследование процессов формирования высоковольтных импульсов 79
2.5. Коаксиальный обостритель импульсов на основе скользящего разряда.88
2.6. Выводы 93
Глава 3. Разработка и численное моделирование полномасштабного источника коротковолнового излучения 95
3.1. Полномасштабный ЭУФ источник 96
3.2. Численное моделирование генератора с длинной транспортирующей линией на постоянную нагрузку 109
3.3. Численное моделирование капиллярного разряда на основе «снежного плуга» с учетом импульсной системы питания 116
3.4. Выводы 120
Глава 4. Модельный электроразрядный источник излучения. Скользящий разряд 121
4.1. Экспериментальное исследование зависимости времени пробега волны скользящего разряда от давления газа и зарядного напряжения генератора 122
4.1.1 Экспериментальное моделирование капиллярных разрядов на атмосферном воздухе 122
4.1.2 Экспериментальное моделирование капиллярных разрядов в аргоне при пониженных давлениях 129
4.2. Аналитическое исследование распространения бегущей волны скользящего разряда, сравнение с экспериментом ; 134
4.3. Численное моделирование работы капиллярной трубки со схемой замещения в виде искусственной коммутируемой линии с обостряющей и без обостряющей емкости на постоянную нагрузку... 137
4.4 Выводы 146
Глава 5. Электроразрядные источники излучения. Основной разряд 148
.5.1. Оптические исследования разряда на модельном источнике в видимом диапазоне спектра 148
5.2. Исследование жесткого рентгеновского излучения методом фолы...161
5.3. Исследование мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения 167
5.4. Испытание полномасштабного источника ЭУФ излучения 172
5.5. Выводы 178
Заключение 179
Литература
