Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности
Ежова Ольга Александровна. Разработка методики проектирования интегральных микромеханических сенсоров линейных ускорений с тремя осями чувствительности: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Ежова Ольга Александровна;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Южный федеральный университет»], 2018