Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений
Шерова, Елена Викторовна. Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Шерова Елена Викторовна; [Место защиты: Юж. федер. ун-т].- Таганрог, 2010.- 245 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1401
