Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Томский политехн. ун-т.- Москва, 2000.- 22 с.: ил.
