Введение
1. Сенсорные и актюаторные элементы МОЭМС 10
1.1. Анализ принципов построения сенсорных и актюаторных элементов МОЭМС 10
1.1.1. Технология объемной микрообработки 11
1.1.2. LIGA-технология .::...:...::.. 15
1.1.3. Технология поверхностной микрообработки 19
1.1.4. MUMPs-технология 20
1.2. Обзор сенсорных элементов МОЭМС 24
1.2.1. Сенсоры температуры 25
1.2.2. Сенсоры механических величин 25
1.2.3. Сенсоры магнитного поля 26
1.2.4. Сенсоры излучений 27
1.2.5. Сенсоры химического состава 27
1.3. Обзор актюаторных элементов МОЭМС 30
1.3.1. Механические микронасосы и микросмесители...35
1.3.2. Микрозеркала с электростатической активацией 40
1.3.3. Микромеханические ключи 42
1.4. Выводы 44
1.5. Постановка задач диссертационной работы 44
2. Разработка и исследование интегрального сенсора магнитного поля 46
2.1. Разработка интегральной конструкции сенсора магнитного поля 46
2.2. Моделирование сенсора магнитного по ля... 53
2.3. Методика проектирования сенсора магнитного поля 88
2.4. Выводы 89
Разработка и исследование актюаторных элементов МОЭМС 92
3.1. Разработка и исследование интегрального микрозеркала с электростатической активацией 92
3.1.1. Разработка конструкции интегрального микрозеркала с электростатической активацией 92
3.1.2.Моделирование интегрального микрозеркала с электростатической активацией .96
3.1.3. Мето дика проектирования интегрального микрозеркала с электростатической активацией 127
3.2. Разработка и исследование интегрального поршневого механического микронасоса 132
3.2.1. Разработка конструкции интегрального поршневого механического микронасоса 132
3.2.2. Моделирование интегрального поршневого механического микронасоса 135
3.2.3. Методика проектирования интегрального поршневого механического микронасоса 148
3.2.4. Методика проектирования интегрального поршневого механического микросмесителя 153
3.3. Выводы 158
Проектирование цифровых устройств на основе интегральных микромеханичесих ключей 160
4.1. Разработка и исследование интегрального микромеханического ключа 160
4.1.1. Разработка конструкции интегрального микромеханического ключа 160
4.1.2. Моделирование интегрального микромеханического ключа 165
4.1.3. Мето дика проектирования интегрального микромеханического ключа .211
4.2. Разработка и исследование логических элементов на основе интегральных микромеханических ключей 217
4.3. Методика проектирования цифровых устройств на основе интегральных микромеханических ключей 236
4.4. Выводы 240
Заключение 242
Список использованных источников 244
