Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники
Саркаров Таджидин Экберович. Разработка процессов формирования диэлектрических пленок и микроэлектронных систем для интегральной электроники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.01.- Махачкала, 2002.- 272 с.: ил. РГБ ОД, 71 03-5/246-7