Введение
Глава I. Физические и структурные характеристики гетероструктур
1.1. Деформации и их влияние на физические характеристики эпитаксиальных гетеро структур
1.2. Зависимость критической толщины псевдоморфного эпитаксиального слоя от упругих напряжений и величины НИР .
1.3. Цель исследования и постановка задачи 36
Глава II. Континуальная теория упругости многослойных гетероструктур .
2.1. Источники искажений формы и внутренней структуры кристалла
2.2. Уравнения континуальной теории упругости для кристалла, искаженного
действием различных источников.
2.3. Уравнения континуальной теории упругости для кристалла с распределением точечных дефектов
2.4. Тензор HTTP и полная система уравнений континуальной теории упругости гетероструктур .
Глава III. Основные уравнения упруго- и пластически деформированного состояния гетероструктур кубической и гексагональной сингоний .
1. Тензор упругой жесткости для гетероструктур с ориентациями пленок
(001), (ПО), (111) кубической и (0001), (2110) гексагональной сингоний
2. Основные уравнения для решения задачи упруго- и пластически деформированного состояния гетероструктур
3. Многослойная гетероструктура произвольного типа
4. Упруго- и пластически деформированная двухслойная гетероструктура
Глава IV. Определение структурных параметров в эпитаксиальных кристаллических системах
1. Определение компонент тензора деформации методом рентгеновской дифрактометрии
4.1.1. Метод кривых качания 79
4.1.2. Рентгенодифрактометрическое измерение кривизны
2. Влияние пластической деформации подложки на профиль напряжений и критическую толщину эпитаксиальной пленки.
4.2.1 Расчет положения нейтралей в двухслойной ЭС кубической сингонии.
4.2.2 Расчет критических толщин эпитаксиальной пленки кубической сингонии .
3. Рештенодифракционный способ определения параметров многослойных гетероструктур.
4. Способ рентгенотопографического исследования гетероструктур на сателлите сверхрешетки.
Заключение и основные результаты 118
Литература
