Введение
Глава 1. Анализ современных миниатюрных вакуумных насосов 8
1.1 Миниатюризация оборудования электронной техники 8
1.2 Современные миниатюрные вакуумные насосы 10
1.2.1 Классификация ВН по признаку "уровень габаритных размеров" 10
1.2.2 Миниатюрные высоковакуумные насосы 11
1.2.3 Миниатюрные низковакуумные насосы 14
1.3 Постановка задачи 23
1.4 Выводы 26
Глава 2. Структурный синтез МНН 27
2.1 Поиск физического принципа действия МНН 27
2.1.1 Классификация вакуумных насосов 28
2.1.2 Методика выбора вида ТО для проектирования нового класса 34
2.1.3 Выбор физического принципа действия МНН 38
2.2 Эволюционный синтез структурно-конструктивных схем МНН 47
2.3 Выбор вида и структурно-конструктивной схемы регулирующего клапана 63
2.4 Выводы 70
Глава 3. Теоретические исследования функционирования МНН 72
3.1 Методика формирования математических моделей функционирования многокамерных вакуумных систем 72
3.2 Математическая модель функционирования МНН 75
3.3 Моделирование работы МНН 83
3.4 Выводы 92
Глава 4. Экспериментальные исследования МНН 94
4.1 Методика экспериментальных исследований и испытательная установка 94
4.2 Результаты экспериментальных исследований 99
4.3 Выводы 101
Глава 5. Разработка конструкции МНН 103
5.1 Методика расчета МНН 103
5.1.1 Выбор диаметра условного прохода 104
5.1.2 Определение максимального значения объемов откачных ступеней и частоты работы насоса 104
5.1.3 Определение геометрических параметров откачных ступеней 105
5.1.4 Оценка предельного остаточного давления 105
5.1.5 Оценка наименьшего рабочего давления 106
5.1.6 Выбор мембраны 107
5.1.7 Выбор и расчет привода 107
5.1.8 Проверка соответствия массогабаритных характеристик ТЗ .v 108
5.1.9 Расчет и проектирование регулирующих клапанов 108
5.1.10 Проверочный расчет 109
5.2 Расчет регулирующих клапанов 109
5.2.1 Расчет впускного клапана 109
5.2.2 Расчет перепускного клапана 114
5.3 Конструкция МНН 115
5.4 Выводы 118
Заключение 120
Список использованных источников
