Разработка метрологического обеспечения измерений геометрических и механических величин методами полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования
Соловьев Владимир Витальевич. Разработка метрологического обеспечения измерений геометрических и механических величин методами полуконтактной сканирующей зондовой микроскопии и наноиндентирования : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.11.15 / Соловьев Владимир Витальевич; [Место защиты: Федер. гос. унитар. предприятие Всерос. науч. центр "Гос. опт. ин-т им. С.И. Вавилова"].- Москва, 2010.- 34 с.: ил. РГБ ОД, 9 10-7/2238
