Разработка моделей и исследование динамики микромеханических устройств с электростатическим накатом упругих лент
Степанов, Александр Сергеевич. Разработка моделей и исследование динамики микромеханических устройств с электростатическим накатом упругих лент : диссертация ... кандидата технических наук : 01.02.06 / Степанов Александр Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. авиац. ин-т].- Москва, 2013.- 138 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1411