Введение
Глава 1. Аналитический обзор литературы 14
1.1 Антифрикционные покрытия 14
1.2 Трибологические свойства твердых износостойких покрытий 16
1.3 Дихалькогениды переходных металлов 22
1.4 Углеродсодержащие покрытия 25
1.5 Пластичные металлы как твердые смазки 32
1.6 Многофазные нанокомпозицонные покрытия 35
1.7 Самоадаптация покрытий в процессе трения путем образования твердых смазок на основе оксидов 36
1.8 Методы получения покрытий 40
1.9 Постановка задачи исследования 43
Глава 2. Методики проведения экспериментов и исследования свойств покрытий 45
2.1 Исходные материалы 45
2.1.1 Материалы подложек и их подготовка 45
2.1.2 Катоды-мишени для осаждения покрытий 46
2.1.3 Используемые газы
2.2 Осаждение покрытий 47
2.3 Определение химического состава и структуры покрытий
2.3.1 Определение химического состава покрытий 53
2.3.2 Рентгенофазовый анализ 54
2.3.3 Сканирующая электронная микроскопия 54
2.3.4 Просвечивающая электронная микроскопия 55
2.3.5 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия 56
2.3.6 Спектроскопия комбинационного рассеивания света (рамановская спектроскопия) 57
2.4 Исследование физико-механических и трибологических свойств
покрытий 57
2.4.1 Измерение твердости, модуля упругости и упругого восстановления покрытий 57
2.4.2 Определение трибологических свойств покрытий 59
2.4.3 Измерение когезионной и адгезионной прочности покрытий 62
2.4.4 Оптическая профилометрия 63
2.4.5 Проведение ударно-динамических испытаний 64
Глава 3. Исследование покрытий системы Ti-Zr-C-0-(N) 66
3.1 Состав и структура покрытий 67
3.2 Механические свойства покрытий 72
3.3 Трибологические свойства покрытий 76
3.4 Жаростойкость покрытий 84
Глава 4. Исследование покрытий Ti-Al-Si-C-N/Mo-Se-C 86
4.1 Состав и структура покрытий 87
4.2 Механические и трибологические свойства покрытий Ti-Al-Si-C-N/Mo-Se-C 93
4.3 Адгезионные свойства покрытий Ti-Al-Si-C-N/Mo-Se-C 99 4.4 Жаростойкость покрытий 103
Глава 5. Исследование покрытий системы Mo-C-N-Ag 106
5.1 Структура покрытий 107
5.2 Состав и механические свойства покрытий 113
5.3 Трибологические свойства покрытий 115
5.4 Исследование изменение структуры покрытий в зоне трибоконтакта при испытаниях с нагревом 117
5.5 Адгезионные свойства покрытий Mo-C-N-Ag 127
5.6 Оценка усталостной прочности покрытий Mo-C-N-Ag 130
5.7 Покрытия Mo-C-N-Au 133
Глава 6. Испытания деталей с покрытиями Ti-Zr-C-0-N 137
Общие выводы по работе 139
Список использованных источников
