Разработка нанокомпозитных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления
Стройков, Илья Игоревич. Разработка нанокомпозитных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.05 / Стройков Илья Игоревич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. ун-т информац. технологий, механики и оптики].- Санкт-Петербург, 2011.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/2800
