Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники

Симакин Сергей Борисович. Разработка неразрушающих методов контроля ионно-плазменных процессов формирования тонкопленочных структур и элементов оборудования для создания устройств электронной техники : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06 / Симакин Сергей Борисович; [Место защиты: Государственный технологический университет "Московский институт стали и сплавов"].- Москва, 2009.- 388 с.: ил. РГБ ОД, 71 09-5/439