Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы по положительным электродам литий-ионных аккумуляторов
1.1 Истории поколений литий-ионных аккумуляторов 11
1.1.1 Общие принципы работы ЛИА 12
1.1.2 Материалы положительного электрода
1.2 Тонкопленочные положительные электроды 20
1.3 Электролиты для тонкопленочных аккумуляторов 23
1.4 Практические тонкопленочные аккумуляторы 23
1.5 Выводы 24
ГЛАВА 2. Изготовление тонкопленочных электродов 25
2.1 Изготовление экспериментальных образцов положительного электрода на основе оксидов ванадия
2.1.1 Подготовка поверхности металлической фольги 25
2.1.2 Установка магнетронного напыления 26 29
2.1.3 Отработка режимов магнетронного напыления пленок оксидов ванадия
2.1.4 Исследование морфологии пленок оксидов ванадия методом электронной микроскопии
2.1.5 Исследование элементного состава пленок оксидов ванадия методом энергодисперсионного микроанализа
2.1.6 Результаты исследования фазового состава пленок методом рентгеновской дифрактометрии
2.1.6.1 Пленки, нанесенные без отжига 38
2.1.6.2 Пленки, нанесенные при малом парциальном давлении O2 40
2.1.6.3 Пленки, полученные при высоком расходе O2 и отожженные при температурах выше 400С
2.1.6.4 Пленки, отожженные при температурах ниже 400С 45
2.2 Изготовление экспериментальных образцов отрицательного электрода 50 состава Si-O-Al
2.3 Выводы 54
ГЛАВА 3. Результаты испытаний экспериментальных образцов тонкопленочных положительных электродов на основе оксидов ванадия
3.1 Испытания положительных электродов в составе макетов полуэлементов 55
3.2 Испытания электродов в составе макета аккумулятора 62
3.3 Выводы 64
ГЛАВА 4. Экспериментальное исследование возможности изготовления тонкопленочного литий-ионного аккумулятора 65 с твердотельным электролитом 67
4.1 Разработка структуры и изготовление макетов тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов с твердотельным электролитом
4.2 Испытания макетов тонкопленочных литий-ионных аккумуляторов с твердотельным электролитом
4.3 Исследование влияния твердого электролита на зарядно-разрядные характеристики тонкопленочного литий-ионного аккумулятора 76
4.3.1 Изготовление электродов Si-O-Al 70
4.3.2 Изготовление электродов состава VxOy 72
4.3.3 Нанесение твердого электролита LiPON 73
4.3.4 Сборка макетов двойных полуэлементов с твердым и жидким электролитом
4.3.5 Испытание макетов двойных полуэлементов с твердым и жидким электролитом
4.4 Выводы 78
Заключение 79
Литература
