Разработка отдельных базовых процессов формирования активных областей силовых кремниевых транзисторов
Шангереева Бийке Алиевна. Разработка отдельных базовых процессов формирования активных областей силовых кремниевых транзисторов : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Махачкала, 2006.- 152 с.: ил. РГБ ОД, 61 06-5/2668